產(chǎn)品中心
Product Center
您當(dāng)前的位置：首頁產(chǎn)品中心F4000系列質(zhì)量流量計
量程 10 0SCCM - 1000 SLPM，±2% 滿量程精度，優(yōu)于 50 ms 響應(yīng)時間
F4000系列質(zhì)量流量計是最新一代工業(yè)微機(jī)電產(chǎn)品，采用基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的流量傳感器，適用于廣泛的氣體流量精密測量領(lǐng)域。
F4000系列量程覆蓋范圍100sccm-1000slpm（氮氣等效）,控制范圍從1%滿量程到100%滿量程。
提供Modbus-RTU （RS485）數(shù)字信號，模擬信號（4-20mA或0-5V）通信接口，和開關(guān)量輸出。所需的電源電壓為9-32V。
F4000系列緊湊設(shè)計只有55mm的長度和37.5mm的高度，高度是傳統(tǒng)產(chǎn)品尺寸的3/5，并且本產(chǎn)品可以在360°任意角度下安裝使用。
F4000系列的控制器采用最新一代的MEMS技術(shù)和集成化設(shè)計，體積更小，性價比更高。
相比傳統(tǒng)毛細(xì)管熱式原理產(chǎn)品，F(xiàn)4000系列具有更佳的耐污染、耐粉塵、耐水汽能力，可用于復(fù)雜工況下的流量精準(zhǔn)測量和控制。
配合自主研發(fā)的上位機(jī)軟件FlowView，來實現(xiàn)更多樣的數(shù)據(jù)在線監(jiān)測和控制。
該產(chǎn)品采用快速響應(yīng)的優(yōu)質(zhì)MEMS芯片，保持優(yōu)秀的測量穩(wěn)定性。
應(yīng)用及案例
· 氣相色譜儀
· 配氣儀
· 真空鍍膜
· 泄漏檢測
· 生物發(fā)酵
· 食品和制藥
· 實驗室等
· 響應(yīng)時間≤50毫秒
· 100:1寬量程比
· 鋁合金底座，或316L不銹鋼可選
· OLED顯示屏
· 14 項 功 能 可 調(diào)
· 結(jié)構(gòu)緊湊小巧易于安裝
· 配套“SmartFlow”上位機(jī)軟件
性能參數(shù) | |
氣體要求 | 潔凈干燥無腐蝕性氣體 |
氣體種類 | 氦氣、氬氣、氫氣、空氣、氮氣、氧氣、二氧化碳、甲烷等 注：其它氣體請咨詢 |
量程 | 100sccm - 1000slpm（相對氮氣N2） |
控制范圍（量程比） | 1% - 100%（100：1） |
精度 | ±2%F.S. |
重復(fù)性 | ±0.2%F.S. |
溫度漂移系數(shù) | ≤0.1%RD/℃ |
壓力漂移系數(shù) | ≤0.1%RD/Bar |
啟動時間 | ≤1s |
響應(yīng)時間 | ≤ 50ms |
操作條件 | |
標(biāo)準(zhǔn)參考條件（STP標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力） | 25℃ 和1atm |
工作溫度 | 0 - 50℃ |
工作濕度 | 10% - 90%RH（無結(jié)冰、無凝霜） |
最大耐壓 | 1 MPa |
破壞壓力 | 1.5 MPa |
儲存溫度 | -20到85℃ |
機(jī)械參數(shù) | |
氣路連接接口 | 底座：G1/4英寸，G1/2英寸 快 插：6mm， 8mm ，10mm，12mm VCR：1/4英寸 注：其它接口請咨詢 |
主體材質(zhì) | 底座：鋁合金，316L不銹鋼（可選） 外殼：注塑 |
接液材質(zhì) | 底座：鋁合金，或316L不銹鋼 密封圈： FKM氟橡膠 MEMS傳感器：氮化硅 |
密封材質(zhì) | FKM氟橡膠 |
防護(hù)等級 | IP40 |
安裝方向 | 任意方向 |
重量 | 鋁合金：59克，188克 不銹鋼：134克，485克 |
電氣參數(shù)（供電和通信） | |
供電電壓 | DC 9 - 24V (支持USB供電) |
功耗 | ≤60mA |
供電和通信接口 | JGT 5Pin |
電壓輸出信號 | 0 - 5V 、 0.5 - 4.5V、V1 -5V |
電流輸出信號 | 0 – 20mA 、4 - 20mA |
數(shù)字輸出信號 | RS485 (MODBUS) |
報警信號信號 | PNP、NPN |
顯示方式 | 瞬時流量、累計流量（可翻轉(zhuǎn)顯示正反） |
顯示屏尺寸 | 1.09英寸 |
顯示屏分辨率 | 64 x 128 DOTs |
通信協(xié)議 | Modbus-RTU |
設(shè)備地址 | 1（默認(rèn)）- 253 |
壓降 | |
量程 | 壓降 |
100 SCCM | 0.1 kPa |
500 SCCM | 0.8 kPa |
1 SLPM | 0.3 kPa |
2 SLPM | 1 kPa |
10 SLPM | 0.7 kPa |
20 SLPM | 2.4 kPa |
50 SLPM | 7 kPa |
100 SLPM | 17.6 kPa |
200 SLPM | 59.8 kPa |
500 SLPM | 83.6KPa |
1000 SLPM | 247KPa |
代碼示例: F4000-2L-TM6-013-44 | 代碼 | 示例 | |||
F4000產(chǎn)品系列 | |||||
類型 | |||||
質(zhì)量流量計 針閥流量調(diào)節(jié) 電磁閥流量調(diào)節(jié) | F4000 F4001 F4003 | F4000 | |||
量程 | |||||
100 sccm 1 slpm 5 slpm 10 slpm 20 slpm 50 slpm 100 slpm 200 slpm 500 slpm 1000 slpm | 100C 1L 5L 10L 20L 50L 100L 200L 500L 1000L | 2L | |||
氣路連列接口 | |||||
快插 6mm 快插 8mm 快插 10mm 快插 12mm VCR 1/4英寸 | TM6 TM8 TM10 TM12 VC4 | TM6 | |||
氣體 （ 遵循半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)E52-0703） | |||||
名稱 氦氣 氬氣 氫氣 空氣 氮氣 氧氣 二氧化碳 甲烷 注：其它氣體請咨詢 | 分子式 He Ar H2 Air N2 O2 CO2 CH4
|
001 004 007 008 013 015 025 028
| 013 | ||
模擬通信和數(shù)字通信 | |||||
4-20mA模擬輸出信號 | 4 5 | 4 | |||
0-5V模擬輸出信號 | |||||
開關(guān)量輸出信號（PNP/NPN） RS485數(shù)字輸出信號 | 2 4 | 4 | |||
其它參數(shù) | |||||
（1） 質(zhì)量流量計/控制器進(jìn)入口和出口壓力 （2） 氣體溫度 | |||||
品種齊全，上萬種儀表
國外直銷， 原裝進(jìn)口
誠信服務(wù)，售后保證
